高精密主動減震平臺通常是使用三個串聯(lián)的隔振器
發(fā)布日期：2021-04-13 瀏覽次數(shù)：1582
高精密主動減震平臺適用于各類透射式電子顯微鏡(TEM)、掃描式電子顯微鏡(SEM)、發(fā)射式電子顯微鏡、探針顯微鏡、掃描隧道顯微鏡、原子力顯微鏡（AFM）、橫向力顯微鏡、白光干涉儀，光刻機(jī)，微納米結(jié)構(gòu)和加工儀器！
減振臺采用減振技術(shù)，可以隔離6個空間方向的振動（包括水平方向和垂直方向），主動減振臺利用控制器內(nèi)的壓電加速傳感器將外界振動的壓力信號轉(zhuǎn)換為電信號發(fā)送至隔離模塊中的壓電換能器中，隨后壓電換能器將產(chǎn)生一個與傳入壓力大小相等，方向相反的壓力信號來消除傳入振動。減振系統(tǒng)利用一個反饋回路消除隔振系統(tǒng)的機(jī)械共振。
高精密主動減震平臺通常是使用三個串聯(lián)的隔振器：傾斜運(yùn)動隔振器在水平運(yùn)動隔振器的頂部，水平隔振器在垂直隔振器的頂部。垂直運(yùn)動隔振器如圖1所示，它使用一個傳統(tǒng)的彈簧，連接到一個由兩個彎曲件組成的NSM上，兩個彎曲件在它們的內(nèi)端連接到彈簧上，并在它們的外端被支撐，并且通過力P被壓縮加載。彈簧被重量W壓縮，在高精密主動減震平臺的工作位置上，如圖1所示。高精密主動減震平臺的剛度是K=KS-KN，其中KS是彈簧剛度，KN是負(fù)剛度的大小，負(fù)剛度是撓曲和載荷P設(shè)計(jì)的函數(shù)。當(dāng)彈簧支撐重量W時(shí)，可以使隔振器的剛度趨于零。
